一种探针测试设备及测试方法

本发明涉及探针测试技术领域，公开了一种探针测试设备及测试方法，该方法包括：对多个芯片测试探针在接触芯片过程中的电信号响应特性进行同步采集并分析探针间信号传递干扰关系，得到多探针信号耦合特征图；识别目标信号传递通道，得到第一测试探针配置方案；对芯片进行测试信号输入和响应采集，得到芯片电气特性时频数据；对芯片电气特性时频数据进行多探针协同分析和特征提取，得到芯片电气性能异常指示信息并调整多个芯片测试探针的测试参数和接触位置，得到第二测试探针配置方案，本发明建立了基于测试反馈的自适应优化机制，使测试系统能够根据初步测试结果智能调整后续测试策略，实现了测试过程的智能化和自动化。