摘要
一种封装结构,包含芯片结构、互连介电层、互连导电结构、传输线以及磁性结构。通过电介质对电介质接合及金属对金属接合来接合至基底;互连介电层形成于芯片结构上方。封装结构还包含互连导电结构,形成于互连介电层中;传输线形成于互连介电层中。封装结构还包含磁性结构,形成于互连介电层中,并通过互连介电层与传输线隔开。此外,磁性结构与芯片结构及互连导电结构电性隔离。
技术关键词
磁性结构
传输线
封装结构
芯片结构
导电结构
介电层
互连结构
基底
通孔
尺寸
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