一种晶圆片全自动蒸镀装置

本实用新型公开了一种晶圆片全自动蒸镀装置，属于晶圆片蒸镀技术领域，该蒸镀装置包括托盘机械臂，以及机械臂运动范围内的锅鼎移动装置、压板架和托盘架；采用压板架和托盘架将托盘和压板移动至工作位置，然后通过机械臂将晶圆片自送放置在托盘上，托盘夹取装置采用气杆吸附压板并结合机械臂将压板放置在晶圆片上，托盘夹取装置利用虹膜机构带动夹爪对托盘固定，并将托盘移动至锅鼎上，最后利用复合气缸对锁扣进行开合，实现托盘的固定，该装置实现了托盘、压板和晶圆片的全自动转动，将其整体安装在锅鼎上，大大提高了晶圆片的蒸镀效率，降低了晶圆片的蒸镀成本。