摘要
本实用新型提供一种芯片搬移装置,包括:底板,设置在所述底板一侧的升降模组、真空模组和变距模组;所述升降模组包括升降电机和升降丝杆,所述升降丝杆固定连接于所述底板的一侧,所述升降电机设置于所述升降丝杆顶部,用于控制所述升降丝杆带动所述搬移装置整体沿垂直方向移动;所述变距模组通过所述升降丝杆固定连接于所述升降模组,包括变距电机和变距丝杆,所述变距电机设置于所述变距丝杆顶部,用于控制所述变距丝杆沿水平方向变距;所述真空模组,通过一外框设置于变距模组顶部,包括位于所述外框内的若干真空发生器,以及通过气管与每一所述真空发生器连接的若干气缸,多个所述气缸通过所述变距丝杆与所述变距模组连接。
技术关键词
升降丝杆
升降模组
变距模组
搬移装置
真空发生器
变距丝杆
升降电机
气缸
芯片
底板
上料
往复运动
导管
气管
间距
外框
开关
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