一种半导体芯片加工用夹持装置

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一种半导体芯片加工用夹持装置
申请号:CN202421369172
申请日期:2024-06-14
公开号:CN222637273U
公开日期:2025-03-18
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型涉及芯片加工设备技术领域,具体为一种半导体芯片加工用夹持装置,包括基座,所述基座的内壁与高度调节件的外壁滑动连接,所述高度调节件的外侧壁通过螺栓与驱动件的外侧壁固定连接,通过按压锁定柱使其完全进入锁定腔内,可以调节支撑柱的高度,气缸驱动活塞杆带动导向块进行直线运动,可调节夹持部件之间的纵向间距,转动调节块可带动调节杆旋转,带动两个滑动块以相反的方向进行运动,实现夹持部件之间的水平间距,旋转调节旋钮,驱动螺纹杆在连接块内进行旋转,带动连接杆和夹持头向下移动对半导体芯片进行夹持,并且装置易于调节不同方向的间距,满足了不同尺寸和形状芯片的夹持需求,提高了工作人员的工作效率。
技术关键词
半导体芯片 夹持装置 支撑套管 导向块 夹持头 调节杆 保护块 滑动块 活塞杆 导向件 调节件 螺纹杆 夹持部件 旋转调节旋钮 调节块 驱动件 支撑块 导向杆 基座
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