摘要
本实用新型涉及芯片加工设备技术领域,具体为一种半导体芯片加工用夹持装置,包括基座,所述基座的内壁与高度调节件的外壁滑动连接,所述高度调节件的外侧壁通过螺栓与驱动件的外侧壁固定连接,通过按压锁定柱使其完全进入锁定腔内,可以调节支撑柱的高度,气缸驱动活塞杆带动导向块进行直线运动,可调节夹持部件之间的纵向间距,转动调节块可带动调节杆旋转,带动两个滑动块以相反的方向进行运动,实现夹持部件之间的水平间距,旋转调节旋钮,驱动螺纹杆在连接块内进行旋转,带动连接杆和夹持头向下移动对半导体芯片进行夹持,并且装置易于调节不同方向的间距,满足了不同尺寸和形状芯片的夹持需求,提高了工作人员的工作效率。
技术关键词
半导体芯片
夹持装置
支撑套管
导向块
夹持头
调节杆
保护块
滑动块
活塞杆
导向件
调节件
螺纹杆
夹持部件
旋转调节旋钮
调节块
驱动件
支撑块
导向杆
基座
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