摘要
本申请涉及一种分步定位结构,属于芯片生产设备技术领域,该分步定位结构包括升降底座、第一弹簧推杆结构、第一S形曲面结构、第一弹簧伸缩杆、第二弹簧推杆结构、第二S形曲面结构和第二弹簧伸缩杆,第一弹簧推杆结构沿第一水平方向贯穿升降底座做往复直线运动,第二弹簧推杆结构沿第二水平方向贯穿升降底座做往复直线运动,第一弹簧伸缩杆设置于第一弹簧推杆结构上推动芯片,第二弹簧伸缩杆设置于第二弹簧推杆结构上推动芯片。本申请提供的分步定位结构,第一弹簧伸缩杆和第二弹簧伸缩杆反复推动芯片,实现多次定位功能,使芯片位置更加准确,弹簧伸缩杆能够防止在定位芯片过程中对芯片产生挤压而导致芯片损坏。
技术关键词
推杆结构
升降底座
往复直线运动
S形
弹簧
真空吸附结构
曲面
芯片
位置可调
凹槽
滚轮
拐角
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