用于湿法刻蚀设备的X射线检测装置及湿法刻蚀设备

本实用新型提供了一种用于湿法刻蚀设备的X射线检测装置及湿法刻蚀设备，包括：X射线发射器，设于刻蚀槽内且用于向置于升降器上的晶圆发射X射线；数字探测器，设于所刻蚀槽内且与X射线发射器在水平方向上相对设置，数字探测器用于接收透射晶圆的X射线，并生成晶圆的X射线检测图；控制器，与X射线发射器、数字探测器控制连接，控制器用于根据X射线检测图中晶圆区域以判断所述晶圆是否倾斜，进而判断升降器是否倾斜。本实用新型通过X射线发射器、数字探测器和控制器可以自动化地检测置于升降器上的晶圆是否倾斜，晶圆倾斜则升降器也倾斜，提高了检测效率，避免了测试过程中对卡槽的污染。