一种硅晶棒自动旋转升降上料设备

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一种硅晶棒自动旋转升降上料设备
申请号:CN202421462830
申请日期:2024-06-25
公开号:CN222699429U
公开日期:2025-04-01
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型公开了一种硅晶棒自动旋转升降上料设备,属于硅晶棒上料处理技术领域,包括夹持部,所述夹持部包括一固定夹块以及一活动夹块,所述活动夹块靠近或远离所述固定夹块,对硅晶棒进行夹持或松开;旋转部,所述旋转部包括旋转驱动器以及转动板,所述旋转驱动器以驱动所述转动板进行转动;升降部,所述升降部包括升降驱动器以及升降板,所述升降驱动器以驱动所述升降板进行升降;控制部,所述控制部与所述旋转部、升降部连接,以进行信息交互并控制。本实用新型能够在硅晶棒切片操作之前,将硅晶棒抬起并搬离输送线,而后将硅晶棒旋转180°后,供机器人抓手取料放入线切机内部进行切片,从而简化工艺流程,节省上料节拍。
技术关键词
上料设备 夹块 限位气缸 升降驱动器 升降板 旋转驱动器 限位块 定位气缸 简化工艺流程 机器人抓手 驱动气缸 线切机 机架 导轨 切片 输送线 滑块 运动
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