防溅水装置及SLT测试水循环系统

本申请涉及芯片测试技术领域，具体而言，涉及一种防溅水装置及SLT测试水循环系统。其中，防溅水装置，用于设置在SLT测试水循环系统的水箱注水口，以防止水箱内的水溅出，所述防溅水装置包括：装置本体，用于与所述水箱相连接；工作通道，自上而下设置于所述装置本体中，所述工作通道的下端在所述装置本体与所述水箱相连接时连通至所述水箱注水口；水气分离组件，设置于所述工作通道中，所述水气分离组件被构造为能够限制飞溅水通过以使其回流至所述水箱。根据上述技术方案，可以改善当前清洁SLT测试水循环系统的水路时容易造成环境污染、损害使用人员健康和去离子水用量增加的问题。