真空机械臂

本申请公开一种真空机械臂，该真空机械臂包括：手臂组件；壳体；用于驱动所述手臂组件动作的驱动组件；其中，所述驱动组件可被操纵沿轴向升降地设置于所述壳体内；所述驱动组件包括固定升降机构、两个或者更多个旋转机构；所述固定升降机构包括基座、固定设置于所述基座上的两个或者更多个同轴叠放设置的定子机构、将所述定子机构和所述旋转机构相隔离的密封隔离筒、伸缩外筒；所述伸缩外筒的上端连接所述壳体，下端连接所述基座；所述密封隔离筒包括圆柱形筒体以及设置于所述圆柱形筒体下端连接所述基座的连接端；所述两个或者更多个定子机构同轴叠放设置在所述圆柱形筒体内。