一种裸芯片研磨夹具和裸芯片研磨设备

本申请实施例提供一种裸芯片研磨夹具和裸芯片研磨设备，涉及裸芯片研磨技术领域。裸芯片研磨夹具包括底座模块、旋转调节模块和芯片固定模块。旋转调节模块旋转时，带动芯片固定模块滑动，从而带动芯片移动。旋转调节模块起到了精确位移的作用，旋转调节模块将较大幅度的旋转运动转换为较小幅度的滑动，为了裸芯片的离子研磨提供了精确的定位基础，便于控制研磨量。