一种集成电路芯片制造用废气处理设备

本实用新型公开了一种集成电路芯片制造用废气处理设备，包括废气处理设备本体，所述废气处理设备本体的左侧开设有进风口，本实用新型通过首先将需要处理的废气与进风口进行连接，然后启动废气处理设备本体对废气进行处理，在更换过滤板时，停止废气处理设备本体将需要处理的废气与进风口断开，然后通过圆杆将限位块向外侧旋转，通过把手将过滤板取出更换即可，通过警报灯和急停按钮的设置，能够在废气处理设备本体发生故障时，第一时间关闭废气处理设备本体，达到了便于更换的效果，该集成电路芯片制造用废气处理设备，具备了便于更换的优点，同时避免用螺钉进行固定连接，在拆卸时会影响下一次的使用的问题。