摘要
本实用新型涉及半导体生产设备技术领域,公开了IGBT模块无功测试双通道上下料设备,它包括流水线和工业机械臂,工业机械臂为两个且分别安装在流水线的两侧,流水线用于输送托盘,IGBT模块放置在托盘内,工业机械臂用于向测试设备抓取IGBT模块,流水线为带式输送机。本实用新型的有益效果是:两个工业机械臂抓取IGBT模块进行测试,提高了工作效率,降低了人工成本。
技术关键词
工业机械臂
IGBT模块
流水线
输送托盘
带式输送机
油缸
测试设备
活塞杆
机架
阻挡气缸
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