一种晶圆清洗转移机械臂

本实用新型公开了一种晶圆清洗转移机械臂，包括转移机械臂主体，所述转移机械臂主体包括夹板、连接座、机械臂一、机械臂二、机械臂三与旋转座，所述旋转座设置在固定座的上表面，所述机械臂三设置在旋转座的端部，所述机械臂二设置在机械臂三的端部，所述机械臂一设置在机械臂二的端部；通过设计加固夹持机构，可以当转移机械臂主体在晶圆清洗夹持固定时，晶圆摆放在清洗台的表面支撑放置，夹板相向运转夹持，将晶圆的边缘处夹持在弧形槽的内部，晶圆的下表面边缘处接触底部托板的表面支撑，再次由两个微型气缸同时运动带动下压板与防滑橡胶板下压，直至将防滑橡胶板紧压接触晶圆的上表面边缘处，便于对晶圆夹持固定时加固夹持。