一种芯片生产清洁装置

本实用新型公开了一种芯片生产清洁装置，包括清洁仓，所述清洁仓的前侧安装有仓门，所述仓门上安装有观察窗，所述清洁仓的两侧内壁均固定连接有托板，所述托板的顶部放置有清洁台，所述清洁台的内部开设有回收腔，其底部开设有回收口，所述回收口的两侧均设置有导块，所述清洁台的顶部开设有若干个回收孔，每个所述回收孔的正上方均设置有一对定位组件，所述清洁仓上设置有清洁机构，所述清洁仓的内腔底部放置有回收槽。本实用新型可通过高压气体对芯片的表面进行吹扫，无需与芯片直接接触，确保了芯片表面的完整性，并且清洁效率高，可实现批量清洁，还可对颗粒物进行统一回收，有效避免了颗粒物四散飞溅。