光罩吹扫系统

本实用新型实施例提供了一种光罩吹扫系统，光罩吹扫系统包括：承载装置；位于承载装置上方，沿第一方向延伸的第一滑轨；位于承载装置上方，沿第二方向延伸的第二滑轨，第二滑轨还沿第一方向与第一滑轨滑移配合，第一方向与第二方向不同；位于第二滑轨的吹扫件，吹扫件沿第二方向与第二滑轨滑移配合；与第二滑轨电连接，调整第二滑轨在第一方向的位置信息，以及与吹扫件电连接，调整吹扫件在第二方向的位置信息的控制装置。采用上述技术方案，能够在降低光罩表面的污染物的量的同时，还能做到只吹扫光罩的被污染区域而不吹扫光罩的未被污染区域，减少不必要的吹扫导致的光罩表面保护膜的破损，进而提高芯片的良率。