一种高温离子注入机

本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种高温离子注入机，其包括离子注入机构、承载机构和送料机构，所述承载机构包括底座、旋转动力件、转盘和固定组件，所述旋转动力件设置于底座上，所述转盘同轴固定连接于旋转动力件的输出端，所述转盘的顶面上环设有多个用于放置硅片的容纳槽，所述转盘位于离子注入机构的出口的下方，所述固定组件设置于转盘和底座之间，用于固定放置于容纳槽内的硅片，所述送料机构包括设置于转盘一侧的机械臂，所述机械臂用于硅片的上下料。本申请可减弱硅片的上下料过程对生产效率的影响。