一种热式流量传感器

本实用新型涉及一种热式流量传感器。包括衬底，其背面设置有阻挡层；支撑结构层；上游热电堆下层热电偶、下游热电堆下层热电偶和中心热源结构；第一绝缘层；上游热电堆上层热电偶和下游热电堆上层热电偶；上游热电堆下层热电偶和上游热电堆上层热电偶构成上游测温元件热电堆，下游热电堆下层热电偶和下游热电堆上层热电偶构成下游测温元件热电堆；第二绝缘层；冷热端连接结构，包括上游热电堆结构热结区、第一上游热电堆结构冷结区、第二上游热电堆结构冷结区、下游热电堆结构热结区、第一下游热电堆结构冷结区、第二下游热电堆结构冷结区；背面释放腔，贯穿于阻挡层并延伸至支撑结构层。本实用新型具有速度快、灵敏度高且结构稳定的特点。