一种能够自检且多向测量的流量传感器芯片

本实用新型涉及一种能够自检且多向测量的流量传感器芯片。本实用新型包括中心热源结构，呈十字结构；四组热电堆测温元件，包括第一上游热电堆测温元件、第一下游热电堆测温元件、第二上游热电堆测温元件和第二下游热电堆测温元件；第一上游热电堆测温元件和第二上游热电堆测温元件均包括多排平行设置的上游测温元件热电堆；第一下游热电堆测温元件和第二下游热电堆测温元件均包括多排平行设置的下游测温元件热电堆，上游测温元件热电堆和下游测温元件热电堆均包括冷结区通孔和热结区通孔；四组热电堆测温元各自的所有冷结区通孔和对应的所有热结区通孔相对设置且分别呈直角结构。本实用新型具有多向测量能力和自检测功能。