摘要
本实用新型涉及集成电路黏晶工艺技术领域的集成电路黏晶工艺顶针装置,包括顶针帽本体和顶针帽顶部,所述顶针帽顶部嵌在顶针帽本体上,所述顶针帽本体的外部顶端设有圆角,所述顶针帽本体的外部的中部偏下处设有斜向外扩展的外扩段,所述顶针帽本体的内部的顶端设有顶部镶嵌空腔。本实用新型提出的集成电路黏晶工艺顶针装置通过采用陶瓷材料的顶针帽,解决了小型芯片频繁芯片缺失的问题,并且具备防静电特性,使得小型芯片的生产效率提升,同时新的顶针帽设计符合无尘环境的要求,可以接触产品使用,解决了金属顶针帽变形造成的GaAs芯片裂纹问题,通过在顶针帽顶部均匀排列陶瓷孔,改善了真空吸附的均匀性,进一步提高了黏晶工艺的稳定性和可靠性。
技术关键词
顶针帽
黏晶工艺
顶针装置
集成电路
空腔
陶瓷材料
接触产品
芯片
不锈钢材料
防静电
顶端
裂纹
真空
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