摘要
本实用新型属于敏感元器件技术领域,公开了一种差压传感器。该差压传感器包括基座、两个接液结构、接液膜片以及感压芯片,通过在基座上设置接液结构,将接液膜片设置在接液结构上,利用接液结构代替基座与接液膜片连接,只需根据实际需要使用不同材料制成接液结构,并将接液结构连接于基座上即可,无需更换基座材料重新加工基座,提高了基座的通用性,且有效地降低了投入成本;通过设置两个接液结构,接液结构的第一通道与基座的第二通道连通,感压芯片设置于基座内,接液膜片感应待测液体压力后,接液膜片能够推动压力传导液朝向感压芯片流动,从而完成感压芯片两端压差的检测。
技术关键词
基座
差压传感器
膜片
敏感元器件技术
待测液体
通道
芯片
密封连接处
基体
安装座
压力
阻尼
不锈钢
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