晶圆刺晶共导轨刚柔复合运动刺晶设备

本发明涉及芯片转移设备技术领域，公开了晶圆刺晶共导轨刚柔复合运动刺晶设备，包括龙门架以及安装在所述龙门架上水平布置的导轨组件和晶圆机构和刺晶头组件，其中刺晶头组件包括刺晶基座、第一音圈电机、对称柔性铰链、第一级柔性平台、第二音圈电机、单边/对称柔性铰链、第二级柔性平台；所述晶圆旋转台机构包括Y轴基台以及滑动安装在所述Y轴基台底部的晶圆组件，所述晶圆组件包括晶圆基座和旋转台。本发明解决了Mini/Micro LED巨量转移时刚性平台晶圆定位效率低，及柔性二维平台与惯量过大的旋转平台叠加产生弯曲变形问题，采用刚柔复合运动技术，显著提高刺晶效率，同时整体设备安装容易，减少导轨组件成本低，实现绿色制造。