一种晶圆传输机械手

本实用新型提供一种晶圆传输机械手，包括基座、以及通过第一转动轴安装于所述基座上的机械手本体，所述机械手本体包括机械臂组件以及安装于所述机械臂组件上的晶圆抓取部；其中，所述机械手还包括罩设于所述机械臂组件上的若干机械臂防热罩、以及罩设于所述基座上的基座防热罩，且所述机械臂防热罩和基座防热罩的外表面形成为抛光面。本实用新型能够降低机械手受到的高温影响，延长其使用寿命。