一种便于送料的碳化硅芯片晶圆切割机

本实用新型公开了一种便于送料的碳化硅芯片晶圆切割机，包括底部箱体，所述纵向伺服位移机构的底端安装有激光切割头，所述激光切割头的下方设置有便于送料的上料组件。该便于送料的碳化硅芯片晶圆切割机通过设置有钢制槽体、伺服电机、横向活动台、晶圆放置槽和限位杆，使用时，晶圆经过表面清洁后置入晶圆放置盘上，晶圆放置盘上的晶圆放置槽可以限制晶圆位置，接着伺服电机驱动外螺纹驱动杆反向旋转，横向活动台沿着横向滑杆向左位移至激光切割头下方，激光切割头即可在晶圆表面切割出纵横纹路，实现了便于送料上料下料的功能，解决的是装置不具备便于送料上料下料的功能的问题。