一种晶圆盒开盒器的移动平台

本实用新型公开了一种晶圆盒开盒器的移动平台，所述移动平台滑动设置在晶圆盒开盒器的平台支撑架上方，所述移动平台开设有一“7”字型镂空豁口，所述“7”字型镂空豁口位于移动平台的外侧，所述移动平台与设置在平台支撑架下方的平台驱动机构驱动连接，所述平台驱动机构位于远离“7”字型镂空豁口的一侧。本实用新型的移动平台开设有一“7”字型镂空豁口，能够给机械臂提供运动空间，能够适用于如晶圆清洗机等整体空间紧凑，且需要通过机械臂来完成晶圆传送盒装载的场景。