摘要
本实用新型公开了一种晶圆盒开盒器的移动平台,所述移动平台滑动设置在晶圆盒开盒器的平台支撑架上方,所述移动平台开设有一“7”字型镂空豁口,所述“7”字型镂空豁口位于移动平台的外侧,所述移动平台与设置在平台支撑架下方的平台驱动机构驱动连接,所述平台驱动机构位于远离“7”字型镂空豁口的一侧。本实用新型的移动平台开设有一“7”字型镂空豁口,能够给机械臂提供运动空间,能够适用于如晶圆清洗机等整体空间紧凑,且需要通过机械臂来完成晶圆传送盒装载的场景。
技术关键词
移动平台
平台支撑架
晶圆盒
电机驱动平台
滑轨结构
晶圆传送盒
下压式
清洗机
机械臂
滑槽
丝杆
场景
运动
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