一种硅芯片基片用超声波清洗机

本实用新型涉及硅芯片基片技术领域，提出了一种硅芯片基片用超声波清洗机，包括：超声波清洗机本体，所述超声波清洗机本体的底端外壁固定连接有若干个支柱，所述超声波清洗机本体的内部设置有放置组件，用于放置硅芯片基片，所述放置组件的上端设置有传动组件，用于带动放置组件进行传动，所述放置组件的下方设置有清理组件，用于对硅芯片基片进行清理，所述放置组件包括设置于超声波清洗机本体内部的若干个放置滤框，若干个放置滤框竖向等距分布于超声波清洗机本体的内部，每个所述放置滤框的顶端两侧均开设有若干个卡合孔，若干个所述卡合孔水平等距分布于放置滤框的顶端，提高了硅芯片基片与清洁液的接触面积，提高了硅芯片基片的清洗效率。