一种用于固晶机的清洁装置

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一种用于固晶机的清洁装置
申请号:CN202421888457
申请日期:2024-08-06
公开号:CN222995357U
公开日期:2025-06-17
类型:实用新型专利
摘要
一种用于固晶机的清洁装置,清洁装置包括吹气管、调节阀、支架和气泵;吹气管包括主管、功能管以及软管,主管连接于功能管和软管之间,功能管的自由端为吹气口,吹气口指向并靠近待取晶片及吸嘴;软管安装于主管的第二端;调节阀安装于软管上,用于控制气流量大小;支架,其用于安装吹气管以及调节阀;气泵的出气口与软管连接,用于提供气流来源。本实用新型能够向待取晶片以及吸嘴吹出清洁气流,用于防止吸嘴处或晶片上粘附硅碎屑或其它异物,保证固晶工序的正常进行,避免出现压坏晶片的现象,保证了芯片封装质量的稳定。
技术关键词
清洁装置 调节阀 导向套 动力装置 固晶机 固晶工序 气管 支架 气流 螺栓结构 芯片封装 气泵 机架 晶圆 顶针 碎屑 弹簧
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