摘要
一种用于固晶机的清洁装置,清洁装置包括吹气管、调节阀、支架和气泵;吹气管包括主管、功能管以及软管,主管连接于功能管和软管之间,功能管的自由端为吹气口,吹气口指向并靠近待取晶片及吸嘴;软管安装于主管的第二端;调节阀安装于软管上,用于控制气流量大小;支架,其用于安装吹气管以及调节阀;气泵的出气口与软管连接,用于提供气流来源。本实用新型能够向待取晶片以及吸嘴吹出清洁气流,用于防止吸嘴处或晶片上粘附硅碎屑或其它异物,保证固晶工序的正常进行,避免出现压坏晶片的现象,保证了芯片封装质量的稳定。
技术关键词
清洁装置
调节阀
导向套
动力装置
固晶机
固晶工序
气管
支架
气流
螺栓结构
芯片封装
气泵
机架
晶圆
顶针
碎屑
弹簧
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