电光调制器、光子集成芯片和光模块

本实用新型揭示了一种电光调制器、光子集成芯片和光模块。所述电光调制器，包括一对调制臂，每个所述调制臂包括脊型部和与所述脊型部的横向两侧相连接的平板部；所述调制臂具有横向并排的P型区域和N型区域，以及形成在所述脊型部中的纵向PN结；所述平板部的高度为所述脊型部的高度的1/3以内；且所述脊型部的横向宽度是其高度的0.8～1.5倍。相较于常规的扁平式结构的脊型部，本申请的电光调制器通过加大平板部的刻蚀深度，可以使光信号在电光调制器内工作于竖直偏振光(TM)模式，从而使得光场方向与PN结的方向相一致，光场和PN结耗尽区的重合度好，利于提高电光调制器的调制效率。