一种运用中空输液的子口径电化学抛光装置

本申请公开了一种运用中空输液的子口径电化学抛光装置,属于电化学机械抛光的技术领域。其包括中空抛光头和导电模块，所述中空抛光头内部开设有供电解液流通的液体流道，所述中空抛光头的加工面为平面，所述平面用于与工件表面贴合，所述中空抛光头靠近所述平面的侧壁开设有与所述液体流道连通的出液孔，所述导电模块用于将电源的正极和负极分别连接至所述工件和所述抛光头。本申请能够较好地实现电解速率与机械去除速率二者之间的平衡，实现难去除硬脆材料的高效去除。