一种流量传感器封装结构

本实用新型涉及一种流量传感器封装结构，属于微机电传感器技术领域，包括基板和芯片，所述基板的上表面设置有第一焊盘，所述芯片的顶部设置有第二焊盘，所述第一焊盘和第二焊盘通过导线实现电连接，所述基板上表面内凹形成装片槽，所述芯片设置在装片槽内，所述芯片的上表面和基板的上表面处于同一平；本实用新型通过将芯片设置在基板上的装片槽中，使芯片上表面与基板上表面处于同一平面，消除芯片与基板之间的高度差，提高测量流体流速的精确度和稳定性；通过密封胶将芯片和基板粘接并密封，使得芯片底部无需采用胶水与基板连接，防止芯片底部胶水不平以及胶水的热胀冷缩而导致芯片上表面倾斜。