摘要
本实用新型属于芯片封装技术领域,尤其为一种三维集成传感器芯片封装模组,包括底座,底座顶部固定安装有支撑柱,支撑柱顶部设置有安装座,安装座内部设置有通槽,安装座一侧设置有引脚槽,底座底部固定安装有真空泵,真空泵一侧固定连接有导管,底座内部设置有滑槽,滑槽内部设置有滑块,滑块顶部固定连接有连接支撑管,连接支撑管一侧固定安装有微型风扇,连接支撑管顶部设置有吸盘。本实用新型通过在吸盘底部设置有连接套和连接槽,连接支撑管一端设置有螺纹头和密封圈进行配合使用,可方便对吸盘进行快速安装和拆卸工作,便于更换不同尺寸的吸盘,以便于更好的针对不同的芯片进行封装工作,可提升其结构实用性和功能性。
技术关键词
微型风扇
真空泵
安装座
芯片封装技术
底座
滑块
密封圈
拆卸工作
滑槽
导管
尺寸
导线
电源
螺栓
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