摘要
本实用新型公开了一种芯片研磨夹具,涉及芯片生产技术领域,其技术方案要点是:包括底座套,所述底座套的上方设有顶座,所述底座套的内部设有底板,所述底板的内部设有若干夹持组件,所述夹持组件用于针对多种不同规格的芯片进行夹持,所述底板上方设有固定盘,所述固定盘的上方设有移动组件,所述移动组件上设有用于盖住底座表面的盖板,效果是实现了针对不同尺寸大小的多个芯片夹持功能,且在夹持过程中保护所夹持芯片,防止其由于夹持力度过大夹持面过硬造成芯片侧边的损坏,一方面提高了取样研磨芯片的研磨速率与取样效率,另一方面提高了芯片的研磨质量,降低芯片的研磨损耗。
技术关键词
芯片研磨夹具
移动组件
夹持组件
接触板
底板
压力传感器
底座
盖套
导向杆
螺纹杆
动力
控制器
橡胶套
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