压电式MEMS加速度计及压电式矢量水听器

本实用新型提供了一种压电式MEMS加速度计及压电式矢量水听器，属于声波传感技术领域。该压电式MEMS加速度计包括：基体，其中部设有圆柱形的贯通区域；质量块，呈圆柱状且设置于贯通区域内，质量块与基体之间形成有环形区域；多个悬臂梁，沿质量块的周向均匀布置于环形区域内，每一悬臂梁的两端分别与质量块和基体连接，其中，每一悬臂梁包括依次堆叠设置的衬底层、下电极层、压电层和上电极层，压电层形成有用于露出下电极层的通孔，上电极层包括沿质量块的径向间隔布置的内电极和外电极，内电极和外电极处于悬臂梁变形相反的区域。本实用新型的压电式MEMS加速度计灵敏度可调，使用灵活。