一种槽式全自动硅片清洗设备

本实用新型提供了一种槽式全自动硅片清洗设备，包括：清洗槽组件，所述清洗槽组件上设有清洗区，所述清洗区设有超声波发生设备；第一提升机构和第二提升机构，所述第一提升机构和第二提升机构设置在清洗区的两侧，所述第一提升机构和第二提升机构之间放置用于放置硅片的提篮；推动机构，所述推动机构包括连杆、推动块和滑动杆，所述滑动杆数量为两组且相互之间通过连杆连接，所述推动块设置滑动杆前端，不同推动块上设有的斜面并分别与第一提升机构和第二提升机构接触连接。本实用新型所提供的第一提升机构和第二提升机构作为提篮的提升组件，减少进入清洗区内进行提篮提取的操作，便于人工或者机械臂进行提取。