摘要
本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,尤其涉及一种用于湿制程智能搬运机器人去水滴夹爪。其包括夹紧电缸、分别设置在所述夹紧电缸两端且受所述夹紧电缸驱动的加持板、分别设置在所述两侧加持板底部的加持块、以及分别对应着两侧加持块设置且分别安装在所述夹紧电缸底部的清洁组件,所述清洁组件包括倾斜安装在所述夹紧电缸底部的清洁安装板、分别通过固定件安装在所述清洁安装板上左右两侧的左清洁气缸和右清洁气缸。本实用新型的有益之处:本技术方案通过在夹紧电缸的底部设置清洁组件,通过清洁组件将加持块上的水分清除,从而确保加持块上没有残留的而水分,确保工作环境的洁净。
技术关键词
智能搬运机器人
清洁组件
电缸
制程
气缸
安装板
硅片
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