一种晶圆清洗装置

本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包括晶圆清洗室，所述圆清洗室内设置有清洗台及清洗组件，所述晶圆清洗室为塑焊腔室，所述腔室一侧设置有供晶圆进出的料口，所述料口设置有密封板，所述密封板由升降气缸控制相对所述料口升降，从而实现所述料口的遮挡或打开。本实用新型将清洗工位设置在塑焊的腔室内，使得清洗工位模块化，便于与其他设备灵活组合，能够避免清洗时受到外界的污染物的污染，保证清洗工位的洁净。