一种晶圆自动扩膜和纠偏的上料系统

本实用新型公开了一种晶圆自动扩膜和纠偏的上料系统，包括底座，所述底座顶部设有高速移动机构，所述高速移动机构上设有调整扩膜机构，所述调整扩膜机构上设有晶圆，所述高速移动机构一侧安装有拖链，所述高速移动机构包括两个X轴导向轨，两个所述X轴导向轨上均滑动连接有X轴导向座，两个所述X轴导向座一侧均安装有X轴直线模组，两个所述X轴导向座上安装有安装板，所述安装板顶部固定连接有两个Y轴导向轨，属于晶圆生产技术领域。该晶圆自动扩膜和纠偏的上料系统高速移动机构沿XY轴进行高速移动，并利用调整扩膜机构对晶圆进行自动扩膜和角度调整纠偏，并且可工人装入晶圆或者搭配工业机器人进行装入，以供设备在晶圆上取走晶片。