硅片翻转系统以及PECVD设备

本实用新型提供硅片翻转系统以及PECVD设备。硅片翻转系统设置在翻转腔中，包括n排第一吸盘杆组、n个平台、顶排第二吸盘杆组和翻转模块，翻转模块在n个载板传输至n个平台上方后，控制驱动n排第一吸盘杆组向下移动吸取硅片并上升复位，接着控制从翻转腔取出n个载板，然后控制驱动n排第一吸盘杆组旋转180度后驱动其向下移动通过相应平台的通道而将完成翻转的硅片放置在n个平台上后继续向下移动，然后控制驱动n排第一吸盘杆组旋转180度，再控制顶排吸盘杆和n排第一吸盘杆组向下移动且吸取n个平台上的硅片并上升，并在n个空载板至n个平台上方后将硅片放置到n个空载板中。本实用新型能有效减少吸嘴印、提高良品率并大幅提高太阳能电池产能。