摘要
本实用新型公开了一种芯片晶圆生产用测试插座,涉及到晶圆检测技术领域,包括底座,所述底座的上方设置有支撑板,所述支撑板的外侧设置有延伸板,所述支撑板与延伸板之间设置有环形槽,所述环形槽的内部贯穿设置有环形结构的定位板。本实用新型通过设置底座,底座的上方设置有支撑板与延伸板,支撑板可以实现对晶圆的支撑,通过在支撑板与延伸板之间设置环形槽,环形槽的内部设置有环形结构的定位板,且定位板可以向上滑动,定位板在向上滑动后可以实现对晶圆的定位,以保证检测过程中晶圆的稳定性,且定位板的可滑动设计方便了晶圆的取放。
技术关键词
晶圆
芯片
环形
底座
支臂
支撑螺柱
支撑杆
托板
滑杆
凹槽
顶端
销轴
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