一种MEMS气体压力传感器

本申请提供的一种MEMS气体压力传感器，其不需要在传感器的外壳上专门开设独立的透孔作为进气孔，而是基于基于多孔结构的透气钢作为传感器的进气结构，通过透气钢缸体内部的微小排气孔，引入外部待测气体或者大气压力；将透气钢设置为不同形状的进气结构，通过透气结构和壳体共通构成安装腔，将传感器芯片安装在安装腔内，这样整个传感器的外部壳体结构上因为没有开设较大的透孔，所以提高了整体的结构强度，同时也可以放置外部的灰尘和液体进入传感器内部。