一种大尺寸MEMS微热板及其制备方法和应用

本发明提供了一种大尺寸MEMS微热板及其制备方法和应用，涉及气体传感器技术领域。本发明提供的大尺寸MEMS微热板包括工作区域尺寸为200～500μm×200～500μm的悬浮工作平台，位于悬浮工作平台周围的通孔，用于支撑悬浮工作平台的支撑组件和具备8根悬臂梁的悬臂梁组件；所述悬浮工作平台包括依次层叠的氮化硅层、螺旋状加热电极、绝缘层和圆形叉指电极；所述悬臂梁的一端连接悬浮工作平台，另一端连接所述支撑组件。本发明提供的大尺寸MEMS微热板解决传统MEMS微热板工作区域过小导致的与敏感材料成膜工艺不匹配的问题，能够提高传感器的性能和兼容性，为高性能气体传感器的规模化生产提供了可靠的技术方案。