一种电容式芯片结构

一种电容式芯片结构属于微机电系统（MEMS）技术领域，尤其涉及一种电容式芯片结构。本实用新型提供一种性能更好的电容式芯片结构。本实用新型包括上极板（02）、下极板（01）、腔体（05）、中部支撑（04）和侧部支撑（03），侧部支撑（03）与中部支撑（04）之间有间距，上极板（02）与下极板（01）之间为腔体（05）,上极板（02）与下极板（01）周边之间设置有侧部支撑（03）,上极板（02）与下极板（01）中部之间设置有中部支撑（04），中部支撑（04）和侧部支撑（03）为腔体（05）的侧壁,其特征在于上极板（02）与下极板（01）形成感压可变电容。