SMIF晶圆盒自动开合盖机构

SMIF晶圆盒自动开合盖机构，属于半导体晶圆辅助生产设备技术领域，包括机架板、底盘支撑台，还具有开锁机构、盒罩固定抬升机构，底盘支撑台后侧安装在机架板前侧端中部；开锁机构包括旋转气缸和开锁头、连接板并安装在底盘支撑台下端，盒罩固定抬升机构包括电动直线滑台、盒罩固定板并安装在机架板前侧端下端。本新型通过简单的控制，能自动经开锁机构使得底盘两只锁定杆外侧端分别和盒罩的内下端两侧的锁定槽分离，然后抬升盒罩的高度，方便基于PLC等控制的六轴机器人逐一将多只晶圆片从底盘上取下转移到下一工位，且晶圆片取出完后，还能将底盘和盒罩组合在一起，方便转移到上一工位，给工作人员带来了便利，并提高了工作效率。