摘要
本实用新型涉及芯片测试技术领域,公开一种冷却流道机构及分选机。其中冷却流道机构包括盖板、隔热板和流道板,盖板设置有第一进液口;隔热板连接于盖板的一侧,隔热板朝向盖板的一侧设置有进液流道,进液流道的第一端连通于第一进液口;隔热板背离盖板的一侧设置有第一隔热槽,第一隔热槽正对进液流道;流道板连接于隔热板背离盖板的一侧,流道板设置有冷却流道,冷却流道的进液端位于流道板的中心,进液流道的第二端位于隔热板的中心,冷却流道的进液端连通于进液流道的第二端。本实用新型通过增加第一隔热槽,可少量提升流道换热能力,以及显著提升流道温度均匀性。
技术关键词
冷却流道
隔热板
流道板
分选机
转接板
芯片测试技术
压头
换热部件
汇流
锥形
压力
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