摘要
本公开实施例公开了一种半导体结构,包括:基板,包括第一基板和位于第一基板上的第二基板;第一重分布层,位于第二基板上;芯片,位于第一重分布层上;导热层,位于第一基板和第二基板之间;导热柱,位于芯片下方,从第二基板的上表面延伸至导热层并与导热层连接。
技术关键词
半导体结构
基板
导热相变材料
导热环氧树脂
导热柱
芯片
导电柱
散热板
空隙
硅脂
石墨烯
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