具有用于高精度键合的纳米海绵电极焊盘的mLED器件及其制造方法

本发明涉及具有用于高精度键合的纳米海绵电极焊盘的mLED器件及其制造方法。根据本发明的实施例提供了具有用于高精度键合的纳米海绵电极焊盘的mLED器件，该mLED器件包括：器件结构，该器件结构包括：具有n型导电性的n型半导体层；具有p型导电性的p型半导体层；以及通过电子和空穴的复合产生光子的有源层；以及纳米海绵电极焊盘(NSEP)，该纳米海绵电极焊盘电连接到n型半导体层和p型半导体层中的一者，其中，该纳米海绵电极焊盘由导电金属制成，该导电金属具有由纳米级凹槽或空腔限定的纳米海绵结构或多孔结构。