摘要
本实用新型涉及一种半导体测试结构和半导体器件结构,涉及半导体领域。本实用新型提供的半导体测试结构用于对有源区进行测试,半导体测试结构包括:基底;栅极组,配置于基底,栅极组包括多个栅极结构,多个栅极结构排列设置;以及导电组,配置于基底,导电组包括第一导电部和第二导电部,第一导电部用于连接有源区的第一端和测试机的第一端,第二导电部用于连接有源区的第二端和测试机的第二端。栅极结构会对有源区的电阻值产生影响,导电组同时连接有源区和测试机,通过测试机对有源区进行电阻值测试时,能够根据测得的电阻值判断有源区的受影响程度,能够判断PSE健康度,进而优化芯片设计和制造过程。
技术关键词
半导体测试结构
栅极结构
半导体器件结构
有源区
测试机
导电触点
基底
电阻值
掺杂区
导电件
芯片
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