一种自动更换探针卡的探针台

本实用新型提供了一种自动更换探针卡的探针台，涉及半导体制造设备技术领域，探针台包括：仓门主体，安装在探针台的机台本体上，其中仓门主体中设置储存槽；储存盒，固定在储存槽中，其中储存盒中安装多层承装结构，且承装结构允许探针卡的装入；机械手装置，安装在机台本体中，其中机械手装置包括多个机械臂，且多个机械臂的端部依次转动连接后形成传动链，在仓门主体关闭时，允许传动链的另一端伸入储存盒内；以及吸附结构，安装在传动链的另一端，在更换探针卡时，允许传动链带吸附结构沿垂直于探针卡的方向移动，且允许传动链带吸附结构转动，其中吸附结构可吸附连接于任一探针卡的表面。本实用新型能够实现探针卡的高效自动更换。