一种MEMS传感器测试设备的转子结构

本实用新型提供一种MEMS传感器测试设备的转子结构，其特征在于，包括旋转机构和转子部，所述旋转机构和所述转子部连接，并可带动所述转子部旋转；所述转子部为两个旋臂构成的十字型结构，所述转子部的末端设置有用于安装样品的至少一个测试位。本申请通过旋转机构带动十字型的转子部的旋转，可以在一个结构中同时实现为待测芯片提供足够的高度激励和加速度激励的需求，该结构简单，测试方便且易于同其余部件结合以进一步拓展测试功能。