摘要
本实用新型属于芯片检测技术领域,公开了检测平台,用于半导体测试设备的检测,其包括机台和保护罩。机台上具有多个安装位,每个安装位均安装有待测模块,待测模块具有多个待检测的检测位;保护罩设置于机台并与机台围合形成保护空间,部分检测位位于保护空间内部,保护罩设有对应于部分检测位的若干能启闭的活动盖板。以此该检测平台在使用时,通过将待测模块安装在安装位上进行调试,能够快速根据调试过程排查出现问题的结构并对应调整相应的结构,从而高效完成待测模块的调试,而且调试时也能够确保在部分检测位之间流转的空载料盘不会脱离,从而确保调试过程中的安全性。
技术关键词
检测平台
活动盖板
待测模块
检测位
半导体测试设备
机台
保护罩
取放机构
定位缺口
芯片检测技术
锁定件
定位块
料盘
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